当🜝🃇这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后，监视器显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董，主机系统重复精度小于😋0.001毫米，数据正常。🜻”
“报告万总，主机系统的震动量误⚅🏃🗙差都在量级以内，不会对光刻程序造成🆎🎞影响。”
“报告万总，主机系统的功率输出一直都非常稳🅼定，模拟光刻过程中没有出现波动现象⚥📜🛨。💾🗛🜖”
“这台设备的电磁杂波强度都🎱在量级要求范围之内，没有出现异常情况。”
“……”
技术员们📈😸非常专注，每出现一个数据就👰会把情况如实汇报。
通过他们一番🀵比对下来，🟕这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生变化。🞫这事有点蹊跷了！
另一边，郝宁教授的团队已经完成了激光光源的能量测试流程，一切也正常。🀴🀽🂓
不但如此，他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空🜻气中的散光度误🞫差很小，在正常范围之内。
由此看来，米国佬的这台激光光源系统没有质量问🏣题，性能非常稳定。
看到这一📈😸幕，梁宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正常，组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况？”
“这…这📈😸事有点邪门啊！”万宁古此时也有点懵，两手一摊，看着🜻许振鸣苦笑，并且直摇头。
今天中午饭的时候，他得到梁🎱宋松的提醒，灵感咋现，其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设想，米国产的激光光🙩🌿路系统肯定没问题，国产的光刻机主体系统肯定有问题。
但现在一番检测下来，这两台设备的情👰况都很正常，问题到底在哪里？
“两台设备单体都正常，组装在一起就不正常。在组装的时候📿，我们做过哪些改动程序？”
这时，许振鸣慢慢的蹲下身子，目光落在光刻机主体🌟⛻🟧系统的接驳机构处。他的意思很明确，就是这个接驳机构出了问题。
“想想也是，我觉得应该是两台设⚅🏃🗙备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许振鸣这边看了过来，说出自己的猜想。
“🜝🃇不可能！我们这台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进的加工中心制造的，加工精度能保证。”万宁古一边说话，一边也跟着半蹲了下来。
这时候，梁宋松🀚有点懵懵的。出于自信，他随🞨🖯口就否定了万宁古的判断，“怎么不可能？我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右，加工精度怎么能保障？依我看，就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”